◦尺寸小,可进行高速高分辨率定位。
◦ 开环控制时的行程为100μm。和开环控制相比,闭环控制时的最大行程会少10%左右。
◦考虑到显微镜的种类,我们备有2种用于正立型和1种用于倒立型显微镜的标准产品。
◦和其他压电陶瓷平台类似,可用控制器(FINE-01γ/503(CL))实现驱动。它们具有RS232C,GP-IB(仅FINE-503(CL)),USB接口,配合计量·控制软件SGEMCSE,SGTERME或SGSFSX,可简单地构建控制需要的系统。
▶在闭环控制时,平台的行程与开环控制时相比会减少20%左右。