◦利用透镜的畸变效果,使扫描振镜等的反射镜的等速旋转运动变换为在焦点平面上的光斑的等速直线运动。
◦可以提供相对焦点平面,能垂直照射的远心型fθ透镜。
◦可以提供YAG激光的基波(1064nm)和高次谐波(266nm,355nm,532nm),以及CO2激光(9.3〜10.6μm)用fθ透镜。
▶由于fθ透镜被设计使用于扫描式的光学系统中,所以不推荐使用于成像系统。
▶请把光束扫描系统(扫描振镜)安装在fθ透镜的入瞳位置上。光束扫描系统与入瞳位置不一致的情况下,将导致像差恶化,不能得到良好的聚光光斑。