浅析光圈、局部光圈与PV、RMS
面型是光学制造中的重要精度指标之一,简单来说是表面不平整度。面型就好像铺水泥路面,铺的好的表面很平整,没有坑坑洼洼,车子开过去好的路面很平稳、不好的坑坑洼洼的,就颠簸得厉害!
面型的两个参数PV和RMS值,PV是表示路面的最高处与最低处的差值,即波峰波谷值;RMS值是全部路面高低的平均值,即均方根值。因此,PV值能够做到0.1个波长,RMS值至少在0.02左右,一般来说,PV值是RMS值的6-8倍。目前很多商家说出所谓的1/8波长或1/10波长实际上多指RMS值,其PV值往往达不到1个波长,而良好的天文观测器材应该具备PV=1/2波长才算是精度比较好的。
在实际中,光学图纸对光学零件的要求用光圈数(N)和局部光圈(△N)表示,而对于高精度光学元件用ZYGO干涉仪检测却是pv和rms值。当然,用ZYGO也可以测出光圈、局部光圈、PV、RMS,不同的设置测出来的是不同的,并不是出来的都是PV。
光圈(N)和PV的关系是:光圈好的,PV肯定好;PV好的,光圈不一定好。PV是光圈的波峰和波谷的相对值,不考虑局部误差的影响,而说光圈时一般要考虑局部光圈误差的影响。
用ZYGO仪器测量光学零件的光圈(N),读的不是很准,要读的话就是软件上面surface map 中的power值,不过要把单位转化成光学单位。至于局部光圈则读profile map中的pv直,很准确,把surface map 中的line放在最高点和最低点位置,看高或低所占的pv的比例就行。
图纸中的光圈数是加工元件与样板的偏差而产生的干涉条纹数,而干涉仪测量时,参考球半径(类似于样板半径)可变,条纹多少是可以变化的,测量结果(PV和RMS值)是加工元件与最接近参考球的偏差。
一道圈是面型偏差有二分之一个波长大小,546.1nm是标准波长,PV是面型偏差的最大值,除以546.1就是几分之几波长,和二分之一个波长比较,有几个二分之一波长就有几到圈。
总之,光圏和PV、RMS是两种不同的评价标准。局部光圈如果作为PV来评价的话,技术指标比PV值还要高。